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CZ-80型单晶炉
CZ-80系列晶体生长设备（单晶炉）主要用于拉制Φ6"-Φ8"大直径、低氧碳单晶硅棒，熔料量70KG，该产品的外观设计及电器控制均有自已独特的创新，该产品采用了PLC自动控制系统，自动化运行控制精度高，并保证了硅单晶生长所需的稳定、连续、高效的生长环境，增加了功率因数补偿，提高功率因数，降低损耗，达到节能的目的，并减少了电网污染，利用了先进的磁性流体密封＋机械密封＋新型的盲道，解决了旋转轴卡滞，提高了真空度。
CZ-80A晶体生长设备分别获省级“产品合格证书”、“河北省科技成果证书”、“高新技术产品证书”和“邢台市科技进步一等奖”证书。
CZ-80单晶炉基本参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | CZ-80 |
| 电源电压和频率 | 3ф 50Hz 380V |
| 加热方式 | 石墨电阻加热 |
| 变压器容量 | 160KVA |
| 主加热功率和电压 | 110Kw 50V |
| 晶体直径 | ф6“-ф8” |
| 坩埚规格 | 16“-18” |
| 熔料量 | 70Kg |
| 冷态炉内极限真空度 | ≤2Pa |
| 炉内最高温度 | 1600℃ |
| 主炉尺寸 | ф800×1080mm |
| 副炉尺寸 | ф265×2500mm |
| 翻板阀通径 | ф265mm |
| 籽晶升速 | 0.2-8mm/min |
| 籽晶转速 | 2-30 rpm |
| 籽晶有效行程 | 2500mm |
| 坩埚转速 | 1-10 rpm |
| 坩埚有效行程 | 450mm |
| 炉体尺寸 | 1695×1260×6700 mm |
| 炉体重量 | 4300Kg |
| 年产量 | 9000Kg |
