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产品信息
硅芯炉
 
主要参数
原料规格 ф80×530mm
成品规格 ф8±0.4mm
硅芯长度 2000-2900mm
生产能力 15根/炉
真空度 ≤3Pa
高频感应加热电源 2~2.5MHz
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硅芯炉是在充气(保护气体)条件下,采用区熔法,从硅多晶棒拉制硅芯的一种电子专用设备。采用机电一体化设计,配有晶体提位、旋转自动控制及籽晶托盘控制系统,自动化程度高,运行可靠。可采用ф80mm左右的原料棒,原每炉次可拉制15根硅芯,成倍提升生产效率,降低能源消耗,是一种理想的硅芯晶体生长设备。