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硅棒开方粘接设备
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主要参数 |
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|---|---|---|
| 粘接工件直径 | ф120-ф170mm | |
| 粘接工件尺寸 | 100-500mm | |
| 外形尺寸 | 1280×680×1180mm | |
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硅棒开方粘接设备是针对粘接单晶棒的设备，它可以粘接100-550mm的单晶棒，采用高刚性机械结构床身及人性化设计，床身由数控加工中心一次加工成型。运动主轴采用进口精密线性直线导轨配合双螺母结构，精度高、运行平稳，最大限度地消除了间隙误差。通过固定工作台主轴移动的三角对称结构，可有效降低荷重及温度对机台变形量的影响，确保机台长期保持高精度状态。加热系统采用AI智能调节器实现对温度的精确控制及检测，独立机柜操控操作方便，使用灵活，满足了单晶硅棒粘接的工艺要求。具有操作简便、可调性强、稳定性好、能耗低、工作效率高等特点。
硅棒开方粘接设备基本参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 外形尺寸 | 1280×680×1180mm |
| 加工工件直径 | ф120-ф170mm |
| 加工工件长度 | 140-600mm |
| 两导轨直线度 | ≤0.06mm |
| 两滑块中心轴线与导轨平行，平行度 | ≤0.06mm |
| 标准棒体粘接偏差 | ≤0.4mm |
| 冷却鼓风机 | 220V,250W |
